一般來說，真空脂在正常使用條件下不會和大多數樣品發生化學反應，因為它的設計目標就是在真空密封、潤滑場合中保持化學穩定性和惰性。不過在使用真空脂前，需要確認性能參數，畢*真空脂的品牌型號不同，參數也存在差異。所以在不明確性能參數前，在某些特殊情況下使用需要注意：

高溫環境

真空脂在超過推薦溫度時可能發生分解，生成的分解產物可能污染樣品表面。

高能束照射

在掃描電鏡、離子束等環境下，如果電子束或離子束直接照射到殘留的真空脂，可能導致局部碳化、沉積，影響樣品表面。

有機/溶劑敏感樣品

部分有機樣品（如高分子、柔軟的薄膜）如果接觸碳氫基真空脂，可能發生吸附或輕微溶脹，不利于實驗。