由于真空脂的類型較多，清除方法也會有所不同，像我們提供的Apiezon系列真空脂，去除殘留的方法較為簡單，可以使用溫肥皂水或芳香烴溶液，如檸檬烯就可以去除。

下面我們說說一些常見真空脂清除密封面上的殘留的方法，通常，清除的關鍵在于不損傷密封面材料、徹底去除脂層、避免留下污染。以下是一種安全、有效的清潔步驟，適用于大多數金屬、玻璃、陶瓷等常見真空系統材料：

一、安全清除真空脂的基本步驟：

1. 使用塑料或木質刮刀初步清除

用塑料刮片、小木片、軟質刮刀將大部分固態或半固態真空脂輕輕刮下；

避免用金屬工具，以免劃傷密封面（如金屬 O 型槽、法蘭面）；

對可拆部件，可先用溫風稍微加熱（<50°C）軟化脂層，便于刮除。

2. 使用適當的有機溶劑溶解殘留物

常用溶劑包括：

異丙醇（IPA）。

石油醚、己烷：較強清除力，但應注意通風；

丙酮：效果強，但不推薦用于某些塑料密封部件；

電子級清洗劑（如電子清洗噴霧）：可用于敏感部件；

將溶劑滴在無塵棉簽、擦布或鏡頭紙上擦拭殘留脂；

須在通風良好環境下操作，注意防火、防爆、防靜電。

注：不同種類的真空脂所使用溶劑需根據產品規格選擇。

3. 多次清洗，直至表面不再有油感

使用溶劑反復擦拭；

清洗后手觸表面無油感，且無可見殘留，即可認為脂層已清除；

可用干凈濾紙試壓，觀察是否還有油跡。

4. 對于真空等級要求高的系統，推薦最終烘烤或等離子清洗

在潔凈真空爐中加熱驅散殘余揮發物；

或采用氧等離子清洗去除有機殘留（特別適用于光學、電子束系統）；

使用前可測試殘余總壓力是否異常，判斷是否徹底清潔。

二、不同材料密封面的注意事項：

不銹鋼、鋁合金法蘭：可用異丙醇或丙酮清洗，注意不要刮花鏡面；

玻璃或石英表面：可用 IPA 或乙醇，避免用硬物刮擦；

塑料部件（如 O 型圈槽、絕緣體）：避免使用強溶劑，選用溫和清潔劑；

涂層表面（如金、銀、TiN）：避免使用會破壞涂層的溶劑或擦拭方式。