真空脂是一種專用于真空系統中的密封材料，主要用于增強密封效果、防止漏氣和潤滑運動部件。它在多種真空設備和應用中都有廣泛使用，常見包括：

1. 真空泵和閥門

用于真空泵的密封圈、軸封處，防止氣體泄漏；

閥門密封面或閥桿處，保證閥門的密封和靈活運動。

2. 真空腔體的密封面

連接真空腔體的法蘭密封面（如KF、CF、ISO法蘭）；

真空門、視窗接口等密封處，增強密封性能。

3. 掃描電子顯微鏡（SEM）和其他分析儀器

樣品桿、探針、載物臺等移動部件的潤滑和密封；

保護內部真空環境，防止外界空氣滲入。

4. 半導體制造設備

各種真空處理腔體和傳輸系統的密封；

涂覆在O形圈、金屬密封件或滑動密封面。

5. 光學真空系統

激光腔體、光學平臺的真空密封；

需要高潔凈、低揮發性潤滑的部件。

6. 科研真空設備

離子源、電子槍、質譜儀、超高真空腔體等；

保持真空系統長時間穩定密封。

7. 真空測量儀器

真空計、殘余氣體分析儀等密封部件。

使用真空脂的注意事項

需選用適合系統真空度和溫度范圍的真空脂型號；

涂抹前應保證密封面清潔無油污；

避免過量使用，防止污染真空腔體。

真空脂的種類較多，可根據需求選擇，我們提供的主要為Apiezon真空脂系列，選型表如下：