Apiezon 真空脂中部分型號可以用于超高真空（UHV）系統，但需謹慎選擇和正確使用。

常用于：

UHV 系統中 O 形圈的靜態密封；

樣品桿、插拔口、冷阱部位涂層；

掃描電鏡、XPS、低溫探針臺等設備中。

注意使用條件：

可用于靜態密封。

涂在 O 型圈或接口表面，起輔助密封作用。

溫度控制

溫度過高會導致揮發、污染腔體。

薄涂為宜

只需非常薄的一層即可形成真空密封；

過量使用會增加脫氣風險，不利于真空度提升。

避免與表面分析樣品直接接觸

若用于 XPS、AES、SIMS 等表面分析設備，需避免真空脂揮發物遷移污染樣品表面；

可在樣品遠離主腔時使用。

脫氣處理

使用前如有條件，可在真空烘箱中對真空脂脫氣處理；

避免因殘余氣體影響 UHV 真空系統啟動速度。